Luokittelu kemiallisella höyrysaostuksella
Kemiallisella höyrystysmenetelmällä on monia menetelmiä, kuten ilmakehän paine CVD (APCVD), matalapaineinen CVD (LPCVD), ultrakorkea tyhjiö CVD (UHVCVD), laserkemiallinen höyrylaserlaserlasku (LCVD), metalli-orgaaninen kemiallinen höyrysaostus (MOCVD). , plasmassa tehostettu kemiallinen höyrystys (PECVD) jne.